E10100 - SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド StdPbc-0513 本スタンダードは，適切な仕様レベルを設定することを目的とし，すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ，技術革新への制限を最小限にしようとするものである。本仕様では，目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより，ほとんどの要求条件を代数的に表現している。カセットのメカニカルインタフェースだけが規定されている。すなわち，材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限などは規定されていない。ただし，本スタンダードは色々な設計や材料のカセットがこれに準拠して製造されるようにまとめている。

本スタンダードは，適切な仕様レベルを設定することを目的とし，すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ，技術革新への制限を最小限にしようとするものである。本仕様では，目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより，ほとんどの要求条件を代数的に表現している。カセットのメカニカルインタフェースだけが規定されている。すなわち，材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限などは規定されていない。ただし，本スタンダードは色々な設計や材料のカセットがこれに準拠して製造されるようにまとめている。

SEMI MF1393 (Withdrawn 0705) — Test Method for Determining Net Carrier Density in Silicon Wafers by Miller Feedback Profiler Measurements with a Mercury Probe

Fab Construction Monitor and the Fab Equipment Monitor

SEMI E30 — Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI D31-0825 (technical revision)

E10100 - SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド StdPbc-0513 本スタンダードは，適切な仕様レベルを設定することを目的とし，すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ，技術革新への制限を最小限にしようとするものである。本仕様では，目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより，ほとんどの要求条件を代数的に表現している。カセットのメカニカルインタフェースだけが規定されている。すなわち，材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限などは規定されていない。ただし，本スタンダードは色々な設計や材料のカセットがこれに準拠して製造されるようにまとめている。Global Physical Interfaces and Carriers Committee2010430Global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org20002200411 300 mmCIM FA: computer integrated manufacturing or factory automationCIM FAEFEM: Equipment Front End Module Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E15. 1 Specification for 300 mm Tool Load Port SEMI E19