T00700 - SEMI T7 - 二次元マトリクスコードシンボルの両面研磨ウェーハ裏面マーキングの仕様 Revision:SEMI T7-0303 - Superseded 本スタンダードは,コンパクトサイズ3ポート2ファスナーコンポーネントに適用される。コンポーネント(バルブ,圧力調整器,圧力変換器,フィルター,清浄器など)は,上部からアクセス可能なファスナー(ボルト等)を使用し,基板(ベース)に実装される。
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