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and SEMI C11
This standard addresses the communications with and among modules within a cluster tool for automated control
SEMI E116-0704 (technical revision)
fault detection (FD)
サービスは，ユーザとサービスの提供者との間に信頼できる接続が確立されている通信環境を前提としている。通信の確立，維持，開放はこのスタンダードの範囲外である。
E13000 - SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様 Revision:SEMI E130-1104 - Superseded and SEMI C11global Information & Control Committee2010430Global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org200311200411 300mmPSEM300PSEM300 Subordinate Document: SEMI E130. 1 1104 (Reapproved 0710) 300mmPSEM300SECS II Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communication Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E37 High Speed SECS Message Services (HSMS)
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