E19700 - SEMI E197 - Specification for Large Tray Stack FOUP (LTSF) Revision:SEMI E197-0226 (Preliminary) - Current XMLメッセージ通信に関する仕様は確立された,公開され照会し得る,XMLメッセージ通信に関する現実的な関係業界スタンダードを複数利用する。SEMIスタンダードへ応用する際,個々の状況でメッセージ通信に直接要求される必要性がある場合にのみ,既存の関係業界スタンダードを拡張するに止めている。本スタンダードは既存のスタンダードの焼き直しや競合する仕様を作り出そうとするものではないが,既存のスタンダードと整合し使用例を引用することは意図している。
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