F03800 - SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付けを目的とした試験方法 StdPbc-0613 帯電したウェーハやレチクルの表面は微粒子を吸着（静電気吸着，ESA： electrostatic attraction）し，不良率を増やす｡

帯電したウェーハやレチクルの表面は微粒子を吸着（静電気吸着，ESA： electrostatic attraction）し，不良率を増やす｡

2 — Guide for the Qualification of Polymer Assemblies Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Systems in Semiconductor Process Equipment

This method was technically approved by the global Flat Panel Display Committee and is the direct responsibility of the Japanese FPD Materials and Components Committee

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年10月にwww

All liquid chemical standards consist of guidelines

F03800 - SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付けを目的とした試験方法 StdPbc-0613 帯電したウェーハやレチクルの表面は微粒子を吸着（静電気吸着，ESA： electrostatic attraction）し，不良率を増やす｡global Gases Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org19996200411 : POU Referenced SEMI Standards None.