M03900 - SEMI M39 - 半絶縁GaAs単結晶の抵抗率及びホール係数を測定しホール移動度を決定する方法 StdPbc-0118 *This Safety Guideline has the

*This Safety Guideline has the option to purchase the Current document with a redline document (Current + Redline)

The SEMI Committee on Chemical Reagents began its efforts on etchants in 1979

本試験方法は，Global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されたもので，日本地区化合物半導体材料委員会が直接責任を負うものである。現版は1999年6月1日に日本地区スタンダード委員会にて承認された。1999年8月にまずSEMI On Lineで入手可能になり，1999年9月発行に至る。

SEMI MF1366-0308 (technical revision)

SEMI MF1811-1116 (technical revision)

M03900 - SEMI M39 - 半絶縁GaAs単結晶の抵抗率及びホール係数を測定しホール移動度を決定する方法 StdPbc-0118 *This Safety Guideline has theGlobal Compound Semiconductor Committee19996119998SEMI On Line19999 Van der PauwGaAsGaAs Referenced SEMI Standards None.