C00602 - SEMI C6.2 - パイプラインガスとして授受されるグレード20/0.02酸素に対するパーティクル仕様 Revision:SEMI C6.2-93 (Reapproved 1111) - Replaced FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。これらの主要要求事項は，それらを標準化することによって，搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能することにある。この標準化は，マテリアルハンドリング装置の選択に自由度を持たせて，コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。

FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。これらの主要要求事項は，それらを標準化することによって，搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能することにある。この標準化は，マテリアルハンドリング装置の選択に自由度を持たせて，コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。

manufacturing

SEMI F57 — Specification for Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems

0% min and Ethyl benzene 1% max

org in May 2015

C00602 - SEMI C6.2 - パイプラインガスとして授受されるグレード20/0.02酸素に対するパーティクル仕様 Revision:SEMI C6.2-93 (Reapproved 1111) - Replaced FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。これらの主要要求事項は，それらを標準化することによって，搬送装置とツール間のインタフェースをうまく機能することにある。この標準化は，マテリアルハンドリング装置の選択に自由度を持たせて，コスト低減に配慮したインタフェースを奨励することを目的とする。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Gases Global Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201111www. semiviews. org www. semi. org1993200211 NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by