F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法 StdTpc-Documentation/Training This standard will specify measurement

This standard will specify measurement method and measurement points

SEMI E54-0997 (technical revision - replaces SEMI E65)

本仕様は，3インチ，100 mm，125 mm，150 mmウェーハを加工処理する際に使用するプラスチックおよびメタルウェーハキャリアの寸法上の要求事項を示す。また，200 mm ウェーハキャリアについて，仕様ではないが，関連情報を含む。

without dependence on operator or host input

This Standard specifies the protocol and services that compliant intelligent devices must support to interchange information over this semiconductor equipment SAN

F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法 StdTpc-Documentation/Training This standard will specify measurementglobal Gases Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org2001320063 : 316L Referenced SEMI Standards SEMI F19 Specification for the Surface Condition of the Wetted Surfaces of Stainless Steel Components