Semiconductor Chemical Safety Part 1a: Introduction to the GHS StdPbc-0815 本スタンダードでは,半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル(共通およびデバイス固有)に従って動作するセンサ/アクチュエータネットワーク(SAN)上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP (Ethernet/Industrial Protocol)ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。
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