E00109 - SEMI E1.9 - 300 mmウェーハ搬送および保管用ウェーハカセットの機械仕様 Revision:SEMI E1.9-1106E (Reapproved 0512) - Inactive through to point of use

through to point of use (POU)

本スタンダードのインタフェース仕様は，450mm用テープフレームカセット（450TFC）に準拠するキャリアによって駆動し，結合することを目的としているもので，450TFCに適合している。

This Test Method can be used for PV silicon irrespective of all dopant species and concentrations

filter housings

SEMI C93-0522 (technical revision)

E00109 - SEMI E1.9 - 300 mmウェーハ搬送および保管用ウェーハカセットの機械仕様 Revision:SEMI E1.9-1106E (Reapproved 0512) - Inactive through to point of useglobal Physical Interfaces & Carriers Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20125www. semiviews. org www. semi. org199420067 : IC300 mm "" 1 2 4 ID 1 2422 10 mm1325 1 ID 1 2 1 2 5 4 1 2 2 2 10 mm 3 15 mm 3 ID 1 Referenced SEMI Standards SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E19 Standard Mechanical Interface (SMIF) SEMI E57 Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer